PECVD系統性能指標的說明

日期：2023-05-05 16:21

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摘要：

PECVD系統薄膜制備設備，適合于半導體、集成電路、光電科學、電子信息、納米技術等領域研究，可以在各種尺寸和形狀的基底上沉積可以多種薄膜。

PECVD系統性能指標：

1、PECVD是前段預熱雙溫區滑軌結構，集真空系統、供氣流量系統、射頻源、自動推進、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中。

2、PECVD電源范圍：0~500 W可調，溫度范圍：100~1200 ℃可調，濺射區域長度：2000 mm。

3、適用范圍：金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復合薄膜，連續生長各種薄膜等。

4、雙溫區滑軌爐：帶有預熱爐，*高溫度為1100 ℃；

5、等離子射頻發生器：輸出功率5~500 W可調；射頻電源頻率13.56 MHz；冷卻方式為空氣冷卻；輸入電源:208~240 VAC，50/60 Hz；

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